期刊封面展现采用微滴DEP装配技术在纳米线拉伸特殊微动机构芯片上进行Cu纳米线装配的过程 

　　我国自然科学领域重要权威学术期刊《科学通报》，在时隔9个月之后，再一次在最新一期以封面专题的形式(Vol. 59 (7): 623-629, 2014)报道了中国科学院沈阳自动化研究所微纳米课题组在超高悬空微动电极上装配纳米线的科研成果。这是继多次在国际期刊Applied Physics Letters、Acta Physico-Chimica Sinica，国内期刊《科学通报》、《中国科学》封面刊载之后，沈阳自动化所科研成果再次获得自然科学领域权威刊物封面刊载，再次表明沈阳自动化所的创新能力与研究实力得到科学界同仁的肯定与重视。 

　　纳米线拉伸特殊微动机构芯片是一类通过MEMS工艺设计和制造的微电极拉伸测试机构，可以通过热驱动机构或电驱动机构加载作用力于拉伸电极上，该电极具有超高、悬空和微动的特点。将纳米线装配于该电极上，可以进行单纳米线拉伸动态特性及原子链拉伸制造的研究，研究其在拉伸状态下的动态特性变化及单原子链状态下的特殊性质以向原子器件制造方向发展，是目前纳米科学的前沿研究课题之一，但目前没有一套有效的方案来实现将单根纳米线置于可拉伸的微动机构上以进行拉伸。 

　　介电泳（DEP）方法是一种简单快速有效并且可以规模化的自下而上装配纳米器件的技术。微纳米课题组在传统的介电泳技术的基础上，开发了一种微滴DEP装配技术与实验系统，并借助理论分析与仿真，成功实现了纳米线在拉伸特殊微动机构芯片上的装配，为最终实现纳米线的拉伸及原子链拉伸制造研究迈出最关键的一步，并且大大拓展了介电泳技术的应用范围。这些技术难点的突破和研究成果的报道都体现了沈阳自动化所微纳米课题组在微纳米器件的装配与制造领域的研究实力。 

　　《科学通报》封面图片展现的是采用微滴DEP装配技术在纳米线拉伸特殊微动机构芯片上进行Cu纳米线装配的过程。通过可控的微滴释放技术、精确的定位技术、电极表面处理等一系列技术，实现了单根Cu纳米线在超高悬空微动电极上的装配。（机器人学研究室 黄超雷）